微米級懸浮微粒可視化檢測系統(tǒng)的核心在于利用顆粒物對特定光場的散射效應(yīng)，并結(jié)合高動態(tài)范圍（HDR）成像技術(shù)。

●高強度非激光散射光源技術(shù)

不同于存在視網(wǎng)膜損傷風險的高功率 4 類（Class 4）激光，本系統(tǒng)采用了經(jīng)過精密光路設(shè)計的高強度、指向性面光源。該光源在工作區(qū)形成一個具有對比度的均勻光幕（Light Curtain）。當微粒經(jīng)過該光幕時，會產(chǎn)生強烈的米氏散射（Mie Scattering）光信號。

技術(shù)優(yōu)勢： 安全性高，無需特殊護目鏡；光場覆蓋面積大，適合大范圍空間排查。

●亞微米級顆粒捕獲成像算法

系統(tǒng)配備了高靈敏度圖像傳感器和專用的深度圖像增強處理器。核心算法能實時從復(fù)雜的背景噪聲中提取微弱的散射光信號，并對 0.1um-100um的顆粒進行動態(tài)增強和放大成像。

模式切換： 系統(tǒng)提供“標準模式"、“增強模式"和“軌跡追蹤模式"等多種視覺模式，滿足不同靈敏度和動態(tài)范圍的需求。

●小型化、輕量化探頭設(shè)計

為了適應(yīng)現(xiàn)代化精密加工裝置（如晶圓傳輸盒 FOUP、EFEM、機械臂關(guān)節(jié)）內(nèi)部極其局促的空間，系統(tǒng)的核心探測和照射模組采用了的小型化設(shè)計。

物理特性： 探頭體積小巧，重量輕，支持手持排查或集成在機械手臂上進行動態(tài)檢測。

●微粒目視化：將 0.1um的懸浮顆粒物轉(zhuǎn)化為人眼可見的實時圖像。

●污染溯源：直觀展示顆粒運動軌跡，快速鎖定發(fā)塵源頭（如摩擦、漏氣、靜電吸附等）。

●氣流場驗證：驗證潔凈室層流（Laminar Flow）的穩(wěn)定性，排查由于設(shè)備阻擋形成的渦流積塵區(qū)。

●數(shù)字存檔與分析：支持錄制高動態(tài)視頻，用于后續(xù)的技術(shù)分析、SOP 培訓或質(zhì)量事故溯源。

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